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一、高純氧：

高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;

與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì);

在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過(guò)程都需要氧，例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì)，氧和乙炔混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。

二、高純氦：

用作氦氣球、氦氣飛艇的填充氣體，以取代其有高度可燃性的氫氣；

與高純二氧化碳和高純氮?dú)庖黄鹩米鞫趸技す馇懈顧C(jī)的激光氣體；

液氦用于核磁共振成像儀的超導(dǎo)磁體；

跟醫(yī)用氧氣一起用于深海作業(yè)的呼吸氣體；

用作空調(diào)領(lǐng)域氦漏儀的檢漏氣體；

跟高純氬氣一起用作特殊焊接的保護(hù)氣體；

用作氣相色譜儀/氣質(zhì)聯(lián)用儀等儀器的載氣。

三、高純氬：

高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來(lái)充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護(hù)氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)鋼的重要措施，每煉1t鋼的氬氣消耗量為1～3m3。此外，對(duì)鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業(yè)中也需要用氬作保護(hù)氣。

四、高純氫：

氫是主要的工業(yè)原料，也是最重要的工業(yè)氣體和特種氣體，在石油化工、電子工業(yè)、冶金工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細(xì)有機(jī)合成、航空航天等方面有著廣泛的應(yīng)用。同時(shí)，氫也是一種理想的二次能源（二次能源是指必須由一種初級(jí)能源如太陽(yáng)能、煤炭等來(lái)制取的能源）。在一般情況下，氫極易與氧結(jié)合。這種特性使其成為天然的還原劑使用于防止出現(xiàn)氧化的生產(chǎn)中。在玻璃制造的高溫加工過(guò)程及電子微芯片的制造中，在氮?dú)獗Ｗo(hù)氣中加入氫以去除殘余的氧。在石化工業(yè)中，需加氫通過(guò)去硫和氫化裂解來(lái)提煉原油。氫的另一個(gè)重要的用途是對(duì)人造黃油、食用油、洗發(fā)精、潤(rùn)滑劑、家庭清潔劑及其它產(chǎn)品中的脂肪氫化。由于氫的高燃料性，航天工業(yè)使用液氫作為燃料。