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輝光放電（glow discharge）是指低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現象，即是稀薄氣體中的自持放電（自激導電）現象。由法拉第第一個發現。它包括亞正常輝光和反常輝光兩個過渡階段。輝光放電主要應用于氖穩壓管、氦氖激光器等器件的制造。今天中鑫瑞遠小編為大家介紹一下高純氦氣在大氣壓介質表面輝光放電下的電性研究實驗。

本實驗在高頻電壓與He氣流的操作范圍下，成功的建立了均勻的大氣壓介質表面輝光放電（Atmospheric Pressure Surface Barrier Discharge，APSBD），并且產生多脈沖輝光放電（pseudo-glow discharge）。經由改變實驗的參數（外加電壓的振幅與頻率、He氣流流速），分別對多脈沖輝光放電的電性與光譜進行量測與分析，進而了解APSBD的物理性質與電漿性質。實驗中，成功將外加電壓值與平均放電功率關系推導出一條二次曲線Pav=A(Vp-Vo)2，進而求得電漿密度（約為109cm-3）。并且由光譜的診斷，求出APSBD的平均電子激發溫度（約為3000~3300K）。這兩點可以在不影響操作的前提下，量測APSBD的電性，同時可以掌握操作的情況，對于工業的應用上有很大的助益。

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