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氣體管道工程中常說(shuō)的荊州高純氦氣檢漏（荊州高純氦氣檢）是怎樣的？

創(chuàng)建時(shí)間：2025-05-28 ?瀏覽量：0

氣體管道工程中常說(shuō)的荊州高純氦氣檢漏（荊州高純氦氣檢）是怎樣的？

百度高純氦氣

在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，在一些管道的連接處可能會(huì)有一些肉眼難以察覺(jué)的小孔，使用時(shí)會(huì)導(dǎo)致泄漏，造成事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)中，如果發(fā)生泄漏，輸送超荊州高純電子特殊氣體的燃?xì)夤艿拦こ虒?duì)生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此檢漏非常重要。

一.常說(shuō)的荊州高純氦氣檢是什么？

首先，我們要了解，氣體管道的五項(xiàng)測(cè)試是QC中最重要的一部分，這五項(xiàng)測(cè)試分別是：保壓測(cè)試、荊州高純氦氣檢漏測(cè)試（荊州高純氦氣檢）、水分測(cè)試、氧分測(cè)試和顆粒測(cè)試，確保氣體管道系統(tǒng)的品質(zhì)達(dá)到一定的水準(zhǔn)和滿足客戶的需求。

二.荊州高純氦氣是如何檢漏的呢？

眾所周知，在元素周期表中，荊州高純氦氣（He）的相對(duì)分子質(zhì)量是除氫（H）以外最小的，是最輕的惰性氣體。氣體管道的荊州高純氦氣檢漏（荊州高純氦氣檢）利用的就是這一點(diǎn)。

1.荊州高純度散裝氣體管道荊州高純氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內(nèi)檢漏法（荊州高純氦氣注入法）是通過(guò)內(nèi)部吸入荊州高純度氣體管線，外部噴射荊州高純氦氣來(lái)進(jìn)行的

3.檢測(cè)閥座泄漏的方法必須在閥門(mén)前充入荊州高純氦氣，并在下游抽真空

4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在荊州高純度氣體管線內(nèi)填充荊州高純氦氣或荊州高純氦氣氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點(diǎn)

5.荊州高純氦氣檢漏儀必須是質(zhì)譜荊州高純氦氣檢漏器，檢測(cè)精度不低于1

6.荊州高純氣體荊州高純氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：

（1）通過(guò)向內(nèi)泄漏檢測(cè)方法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-9 mbar l/s

（2）閥座泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s

（3）向外泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s

7.荊州高純氦氣檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)修復(fù)后，必須重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，合格后，再按規(guī)定進(jìn)行荊州高純氦氣檢漏