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氣體管道工程中常說(shuō)的荊州高純氦氣檢漏(荊州高純氦氣檢)是怎樣的?
在氣體管道工程中,由于施工中的各種因素,在一些管道的連接處可能會(huì)有一些肉眼難以察覺(jué)的小孔,使用時(shí)會(huì)導(dǎo)致泄漏,造成事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)中,如果發(fā)生泄漏,輸送超荊州高純電子特殊氣體的燃?xì)夤艿拦こ虒?duì)生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響,因此檢漏非常重要。
一.常說(shuō)的荊州高純氦氣檢是什么?
首先,我們要了解,氣體管道的五項(xiàng)測(cè)試是QC中最重要的一部分,這五項(xiàng)測(cè)試分別是:保壓測(cè)試、荊州高純氦氣檢漏測(cè)試(荊州高純氦氣檢)、水分測(cè)試、氧分測(cè)試和顆粒測(cè)試,確保氣體管道系統(tǒng)的品質(zhì)達(dá)到一定的水準(zhǔn)和滿足客戶的需求。
二.荊州高純氦氣是如何檢漏的呢?
眾所周知,在元素周期表中,荊州高純氦氣(He)的相對(duì)分子質(zhì)量是除氫(H)以外最小的,是最輕的惰性氣體。氣體管道的荊州高純氦氣檢漏(荊州高純氦氣檢)利用的就是這一點(diǎn)。
1.荊州高純度散裝氣體管道荊州高純氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。
2.向內(nèi)檢漏法(荊州高純氦氣注入法)是通過(guò)內(nèi)部吸入荊州高純度氣體管線,外部噴射荊州高純氦氣來(lái)進(jìn)行的
3.檢測(cè)閥座泄漏的方法必須在閥門(mén)前充入荊州高純氦氣,并在下游抽真空
4.必須使用朝外檢漏法(吸槍法)在荊州高純度氣體管線內(nèi)填充荊州高純氦氣或荊州高純氦氣氮混合物,并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點(diǎn)
5.荊州高純氦氣檢漏儀必須是質(zhì)譜荊州高純氦氣檢漏器,檢測(cè)精度不低于1
6.荊州高純氣體荊州高純氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求:
(1)通過(guò)向內(nèi)泄漏檢測(cè)方法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-9 mbar l/s
(2)閥座泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s
(3)向外泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s
7.荊州高純氦氣檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)修復(fù)后,必須重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn),合格后,再按規(guī)定進(jìn)行荊州高純氦氣檢漏
8.所有可能的泄漏應(yīng)使用塑料袋進(jìn)行隔熱
9.系統(tǒng)測(cè)試后,用荊州高純度氮?dú)饣驓鍤馓畛浜颓鍧?/p>
10.檢查后,應(yīng)提交試驗(yàn)報(bào)告

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